CYCLOPS - XE15

CYCLOPSTM -XE15 specifications

This unit is especially developed to be the SX source powering NANO-UV Life McXI microscope product range.

SX performance:

  • Wavelength : 2.3 – 4.4 nm
  • Irradiance : 1015 EUV photons/cm²/s @ 2.88 nm
  • Radiant brightness : 1015 EUV photons/mm²/msr/s @ 2.88 nm
  • Pulse repetition rate : 1 kHz
  • Operation Gas  : He + N2 + Kr (option)
  • Source operating pressure : 35 to 100 mTorr typical
  • Lifetime Time before service : 1 billions shots
  • Spot size : mm spot size at up to 1 m distance

Utility requirements:

  • Electrical : 200-240V, 2Ø, 50/60 Hz, 16A
  • Cooling : Water cooled (2 litres per minute, 15°C - 25°C inlet)
  • He, Ar  and N : 1 - 3 bar inlet

Physical Dimensions:

  • Source  : 140 mm diameter, 450 mm length, 7 kg
  • Instrument rack : 1300 x 600 x 800 mm, 200 kg

Compliance:

  • CYCLOPSTM-XE15 Series : CE Mark, SEMI S2-0709