Cyclops BE 16

CyclopsTM BE 16 specifications

EUV performance:

  • Wavelength : 8-20 nm
  • Irradiance : 1016 EUV photons/cm²/s @ 13.5 nm 4% BW
  • Radiant brightness : 1016 EUV photons/mm²/msr/s @ 13.5 nm 4% BW
  • Pulse repetition rate : 1 - 3 kHz
  • Operation Gas  : He + Ar + Xe (option)
  • Source operating pressure : 35 to 100 mTorr typical
  • Lifetime Time before service : 1 billions shots
  • Spot size : mm spot size at up to 1 m distance

Utility requirements:

  • Electrical : 200-240V, 2Ø, 50/60 Hz, 16A
  • Cooling : Water cooled (2 litres per minute, 15°C - 25°C inlet)
  • He and Ar  : 1 - 3 bar inlet

Physical Dimensions:

  • Source  : 140 mm diameter, 450 mm length, 7 kg
  • Instrument rack : 1300 x 600 x 800 mm, 200 kg

Compliance:

  • CYCLOPSTM-BE16 Series : CE Mark, SEMI S2-0709